芯片无尘室净化等级及车间规划要点
发布时间:2023-08-15来源:上海鑫睿实验室系统工程供应商
十、百、千、万、十万级等等这些是无尘车间分出来的几个等级,很多电子产品都离不开芯片,所以,可以说芯片在现下是非常火热的产品,只是要将它生产出来要求是比较高的,芯片厂房的洁净度是要达到多少级!
芯片厂房的洁净度正常是要求在百级这个等级,当然不同的产品要求也会不同,像要求不高的厂房,是可以适当放宽等级的。半导体材料电子器件的集成化度是在半导体材料电子器件工作环境中要求气体洁净度等级的关键点,不一样的工艺流程中可能环境污染的几率和对电子元器件的潜在性常见故障是明确气体洁净度等级的依据。
气体洁净度对于半导体材料生产制造行业中是有着很高的规定,“百级”洁净度是基本建设的芯片厂房需达到的洁净度。何为“百级”洁净:就是每立方英寸空气中粒度等于或高于0.5μm的颗粒总数不会超过100个,这可不亚于最大洁净等级规范。选用华夫板(运用混凝土楼板内孔眼产生送风安全通道的混凝土楼板)高精度工程施工建设芯片厂房,是为了保证“百级”洁净度,同时创建送风安全通道即由洁净中央空调排风系统产生。选用的华夫板厚度为70厘米,抗微震是它的特点;华夫板总面积达1400多平方米,在其中混凝土浇筑有35000个直径35厘米的奇氏筒,相当于每2平方米就会有5个用来通气的环形圆孔。到生产的时候,芯片的生产线便是布局于华夫板之上,为了确保正压力,生产车间运用家用新风系统进气口,并使用华夫板送风安全通道排气管排气,最后实现了生产车间的洁净度。
目前世界各国的电子器件生产制造企业、生产厂家对电子器件洁净厂房各工艺流程(车间)要求的气体洁净度等级是根据分别生产制造的产品类别、采用的制作工艺的技术性、生产设备、生产制造用的原辅材料及其洁净室的社会经验等经济发展地来明确的。根据大数据统计,各国的电子器件生产制造企业、生产厂家在修建电子器件车间净化工程项目的洁净厂房时所用的气体洁净室的平面图、洁净度等级以及空气净化设备、空间规划、洁净室工程建筑等层面的技术规范和措施的设计方案均各有特色、各有不同。
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